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為何要(yào)對超淨(jìng)工作台的高效過(guò)濾器(qì)進行DOP檢漏試驗?

作者: admin 發表時(shí)間:2021-05-26 06:59瀏覽量:406大(dà)

為(wéi)何要(yào)對(duì)超淨工作台的高效過濾器進行DOP檢漏試驗? 1. 概述 高(gāo)效過濾器(qì) 及其安裝如存(cún)在缺(quē)陷,如過(guò)濾器本身有小孔洞或(huò)者安裝不嚴密形成微小裂縫,都會導致(zhì)達不到預定的淨化效果。...
為何要對超淨工作台的(de)高效過濾器進行DOP檢漏(lòu)試驗?
 
1. 概述
高效過(guò)濾器及其安裝如存在缺陷,如過濾器本身有小孔洞或者安裝(zhuāng)不嚴密(mì)形成微(wēi)小裂縫,都會導致達不(bú)到預定的淨化效果。因此,高效過(guò)濾器安裝或更換後,必須對過(guò)濾器和安裝(zhuāng)連接處進行(háng)檢漏。
2.檢漏目的
通過測(cè)試(shì)高效過濾器的泄漏(lòu)量,發現高效過(guò)濾器及其安裝的缺陷所在,以便采取補救(jiù)措施。
3. 檢漏範(fàn)圍
潔淨區、層流工(gōng)作(zuò)台以及設備上的高效過濾器等(děng)。
4. 檢漏方法
常用的是DOP法檢漏(即采用DOP溶劑作為塵源(yuán),與氣溶膠光度計(jì)配合檢漏),也(yě)可用塵(chén)埃粒子計數器掃描法來檢漏(即采用大氣塵作為塵源,與粒子計數器配合檢漏)。由(yóu)於粒子計數器讀數為累積讀數,不利於掃描,巡(xún)檢(jiǎn)速度慢;另外,在(zài)被測高效過濾(lǜ)器上(shàng)風側,往往大氣塵濃度較低,需補充發煙(yān)才易發現泄漏,粒(lì)子計數器法檢漏的的這些不(bú)足(zú)DOP法恰恰可以彌(mí)補,故國外廣(guǎng)泛采用DOP法檢(jiǎn)漏。
5. DOP法檢漏
5.1. 工作原理
在被檢測高效過濾器上風側發DOP氣(qì)溶膠作為塵源(DOP即鄰苯(běn)二甲酸二辛酯,分子量390.57,噴霧後粒子(zǐ)呈球形狀),在下風側用光(guāng)度計進行(háng)采樣,采集到的(de)空氣樣品通過光度計的擴散室,含(hán)塵氣體經過光(guāng)度計產(chǎn)生的散射光由光電(diàn)效應和線性放大轉換為電量,並由微(wēi)安表快速顯示,便可測得氣溶膠的相對濃度。 DOP試驗實際測得的是高效過濾器的穿透率。

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